روشی که به وسیله آن یک نمونه عکاسی روی سنگ لیتوگرافی منتقل میشود
مجموعه عملیات شیمیایی و نوری برای تشکیل ساختارهای میکروسکوپی روی سطح یک زیرلایه
مثالها
La photolithographie est le procédé qui permet le transfert de motifs géométriques d’un masque vers une fine couche de résine photosensible qui recouvre une tranche de semi-conducteur.